マッチング

株式会社三友製作所

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商品・サービスタイトル
卓上プラズマエッチング装置
キャッチコピー
新提案!　リードタイム短縮のLSI故障解析法
商品・サービス詳細
*マスクレスで局所加工が可能!
*加工後の残渣を大幅軽減!
*50W以下の低出力環境対応仕様!

50W以下の低出力で有りながら、プラズマを局所的に照射するために最大で10μm/minのエッチング能力を有し、独自の加工法により試料へのストレスを極力抑えた加工が可能になります

<標準装備>

プラズマガン(50W型)
真空容器
真空ポンプ(ダイヤフラム型15ℓ/min)
RF電源(最大出力50W)
手動整合器
1軸ステージ(最大試料寸法φ30mm)
真空計(ピラニ型)

<追加オプション>
3軸ステージ(最大資料寸法φ25mm)
マスフローコントローラ
自動整合器

分野
半導体故障解析分野、新素材・材料分野
提供可能地域
日本全国
料金体系
直接販売、商社経由
今までの実績
半導体企業(複数ユニットの故障解析プローバ)、研究機関(ナノ素材、ナノ金属の研究(ピックアップ))、大学(ナノ素材への電圧印加)

会社概要

業種
一般機械・器具/その他
所在地
〒313-0004
茨城県常陸太田市馬場町457
設立年月
昭和33年2月
資本金
45百万円
従業員数
128名
主要事業
・マイクロマニピュレータの設計開発
・ラボ・オートメーション機器の設計開発
・精密機械加工
・分析機器関連製品の製作
URL
http://www.sunyou-ss.co.jp/

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